Development of the large current cluster ion beam technology
Notice bibliographique
Résumé
A cluster is an aggregate of a few to several thousands atoms. Because many atoms constituting a cluster ion bombard a local area, high-density energy deposition and multiple-collision processes are realized. Because of the interactions, cluster ion beam processes can produce unusual new surface modification effects, such as surface smoothing, high rate sputtering and very shallow implantation. High ion dose is needed to realize the nano-level smoothing and etching of hard materials. It is necessary to develop the technology of large current cluster ion beam for the purpose of increasing the productivity of processing using cluster ion beam. In order to achieve large current cluster ion beam, the cluster generation, ionization and ion transportation were studied. The efficient cluster generation was realized by increase of source gas pressure. The mass distributions of Ar cluster beams generated from a Laval nozzle were measured with a Time-of-Flight (TOF). The distributions prove that the neutral beams include clusters with the size up to 160000 atoms. The efficient ionization and extraction were realized by structural improvement of the ionizer. The ionization efficiency increases with the emission current. When the emission current is 100mA, the ionization efficiency reaches about 80 %. The structural improvements of ionizer suppressed the loss of ions by coulomb repulsion and realized the extraction of large current cluster ion beams. As a result, when the gas pressure was 15000 Torr and the electron emission current is 300 mA, the beam current reached 500 μA. The cluster ion dose of more than 1×1016ions/cm2is needed to realize the nano-level smoothing. With this beam current, 6 inches wafers can be treated for about 10 minutes.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,003 |
| Science ouverte | 0,003 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,006 | 0,004 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».