Electrostatic torsional micromirror: Its active control and applications in optical network
Notice bibliographique
Résumé
Electrostatically actuated torsional micromirror fabricated using microelectromechanical systems (MEMS) technology is a fundamental building block for many optical network applications, such as optical wavelength-selective switch, configurable optical add-drop multiplexers and optical cross-connects. The major technical obstacle to achieve its full potentials in both functionalities and performance is the controllability and stability of its tilting angle. This paper presents the model for a micromirror fabricated using micragem silicon-on-insulator process. Closed-loop control approaches are proposed for the 1-degree of freedom (DOF) MEMS device assuming that the angle position can be measured. Compared with traditional open loop control approaches, the nonlinear proportional and derivative (PD) control and the gain scheduling approach improve the performance of the mirror switching, and enhance the robustness of the structures to any stochastic perturbations. Furthermore, the nonlinear PD control can achieve a larger controllable tilting angle than the pull-in angle resulting in significantly enhanced device performance and functionality. Applications of the electrostatic torsional micromirror to optical network are further discussed to underscore the significance and necessities of such methods.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».