The impact of etched trenches geometry and dielectric material on the electrical behaviour of silicon-on-insulator self-switching diodes
Notice bibliographique
Résumé
Hole electrical transport in a p-doped nanochannel defined between two L-shape etched trenches made on a silicon-on-insulator substrate is investigated using a TCAD-Medici simulator. We study the impact of the etched trenches' geometry and dielectric filling materials on the current-voltage characteristics of the device. Carrier accumulation on frontiers defined by the trenches causes a modulation of the hole density inside the conduction channel as the bias voltage varies and this gives rise to a diode-like characteristic. For a 1.2 µm-long channel, plots of the electric field distribution show that a nonlinear transport regime is reached at a moderate reverse and forward bias of ± 2 V. Plots of the carrier velocity along the conduction channel show that holes remain hot for a few hundreds of nm outside the nanometre-wide channel, at a bias of ± 10 V. Filling the etched trenches with a high-κ dielectric material gives rise to a lower threshold voltage, V(th). A similar decrease of V(th) is also achieved by reducing the longitudinal and/or the transverse trench width. Our simulation results provide useful design guidelines for future integrated self-switching-diode-based circuits.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».