Application of adaptive multilevel substructuring technique to model CMOS micromachined thermistor gas sensor, part (II): effect of manufacturing uncertainties in the reliability of MEMS
Notice bibliographique
Résumé
For pt.I, see ibid., no.54, p.279-84 (2003). A study has been conducted to investigate the effect of the manufacturing uncertainties on the reliability of MEMS. The parameters investigated, include the uncertainties in the characterization of the Young's modulus and the values of the residual stresses generated during the deposition process of MEMS thin films. The study was conducted on a CMOS micromachined thermistor gas sensor, recently proposed in the literature. A novel technique called adaptive multilevel substructuring was used to reduce the computational cost of the analysis. The numerical results suggest that, the uncertainty in the characterization of Young's modulus has a reduced effect on the fatigue life. At the other hand the change in the value of the residual stress has a significant effect in the maximum operational stress level encountered during the operation, equivalent alternating stress value and consequently on the expected operational life of the MEMS component. The maximum expected life was found to occur at residual stresses values ranging from 0 to 400 Mpa. At these residual stresses values, the equivalent alternating stress is found to be lower than the endurance limit of the material. These values of the residual stresses correspond to a deposition temperature of 850/spl deg/C and a SiH/sub 2/ Cl/sub 2//NH/sub 3/ ratio ranging from 2 to 4 for the Si/sub 3/N /sub 4/ film deposition process. The achieved results emphasize the important role that can be played by the numerical modeling of the end product. Using the numerical modeling, conclusions for the process parameters can be evaluated before proceeding to the actual microfabrication process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».