Development of a combined piezoresistive pressure and temperature sensor using a chemical protective coating for Kraft pulp digester process monitoring
Notice bibliographique
Résumé
We have developed an integrated piezoresistive pressure and temperature sensor for multiphase chemical reactors, primarily Kraft pulp digesters (pH 13.5, temperatures up to 175 °C, reaching a local maximum of 180 °C and pressures up to 2 MPa). The absolute piezoresistive pressure sensor consisted of a large square silicon diaphragm (1000 × 1000 µm2) and high resistance piezoresistors (10 000 Ω). A 4500 Ω buried piezoresistive wire was patterned on the silicon chip to form a piezoresistive temperature sensor which was used for pressure sensor compensation and temperature measurement. A 4 µm thick Parylene HT® coating, a chemically resistant epoxy and a silicone conformal coating were deposited to passivate the pressure sensor against the caustic environment in Kraft digesters. The sensors were characterized up to 2 MPa and 180 °C in an environment chamber. A maximum thermal error of ±0.72% full-scale output (FSO), an average sensitivity of 0.116 mV (V kPa)−1 and a power consumption of 0.3 mW were measured in the pressure sensor. The sensors' resistances were measured before and after test in a Kraft pulping cycle and showed no change in their values. SEM pictures and topographical surfaces were also analyzed before and after pulp liquor exposure and showed no observable changes.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».