Ellipsometric Characterization on Multi-Layered Thin Film Systems during Hydrogenation
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Notice bibliographique
Résumé
Ellipsometric characterization on the basis of multi-layered modeling is proposed to describe the optical and electrical property transients of hydrogenated films. In particular, two-step modeling is developed to make ellipsometric characterization on the yttrium film and the palladium capped yttrium film deposited on the SiO2 glass substrate. In the former, Y2O3 film deposited on SiO2 substrate is prepared to estimate the dielectric response of yttrium oxide layer as the first step. These data are further utilized in the second step to determine optical and electric properties of yttrium-base multi-layers which are composed of metallic yttrium, composite of metallic yttrium and Y2O3, and Y2O3 layer with surface roughness. In the latter, a palladium film deposited on SiO2 substrate is prepared to investigate the dielectric response of palladium hydrides. The estimated dispersion functions are further used in the multi-layered modeling for hydrogenated Pd-capped yttrium films on the SiO2 substrate. Under the ambient hydrogen pressure, palladium coated yttrium films have low resistivity and hydrogenated yttrium is still metallic. This palladium coating works as a top capping layer for yttrium film during hydrogenation and de-hydrogenation.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle