Temperature compensation in integrated CMOS-MEMS scanning probe microscopes
Notice bibliographique
Résumé
The authors report on the operation of complementary metal-oxide semiconductor microelectromechanical system (MEMS) scanning probe microscope (SPM) with integrated three-dimensional electrothermal actuation and three-axis position sensing. Conventional SPM makes use of piezoelectric positioning systems which are bulky (leading to thermal drift and poor vibration immunity) and suffer from inherent creep (leading to image distortion). The scanner design is intended to leverage the myriad physical benefits of dimensional scaling to improve the performance and to reduce the barrier to entry for SPM ownership when compared to the state-of-the-art. However, the integration of multiple electrothermal actuators on chip introduces several complications owing to coupling between electrical, thermal and mechanical domains. The focus of this Letter is to discuss the origins of these effects, and the strategies that are implemented to mitigate them. Specifically, the authors discuss the open-loop and closed-loop control methods that are used to drive the lateral and vertical actuators and propose and verify a method to compensate for the parasitic effects observed in the piezoresistive force sensors. To the best of the authors' knowledge, this is the first integrated MEMS-SPM with multiple imaging modes that can image a sample without the need for off-chip scanners or laser-based position sensing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».