Temperature compensation in integrated CMOS-MEMS scanning probe microscopes
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The authors report on the operation of complementary metal-oxide semiconductor microelectromechanical system (MEMS) scanning probe microscope (SPM) with integrated three-dimensional electrothermal actuation and three-axis position sensing. Conventional SPM makes use of piezoelectric positioning systems which are bulky (leading to thermal drift and poor vibration immunity) and suffer from inherent creep (leading to image distortion). The scanner design is intended to leverage the myriad physical benefits of dimensional scaling to improve the performance and to reduce the barrier to entry for SPM ownership when compared to the state-of-the-art. However, the integration of multiple electrothermal actuators on chip introduces several complications owing to coupling between electrical, thermal and mechanical domains. The focus of this Letter is to discuss the origins of these effects, and the strategies that are implemented to mitigate them. Specifically, the authors discuss the open-loop and closed-loop control methods that are used to drive the lateral and vertical actuators and propose and verify a method to compensate for the parasitic effects observed in the piezoresistive force sensors. To the best of the authors' knowledge, this is the first integrated MEMS-SPM with multiple imaging modes that can image a sample without the need for off-chip scanners or laser-based position sensing.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle