Selective porosification of n-InP(100) after focused ion beam implantation of Si
Notice bibliographique
Résumé
Selective pore formation can be electrochemically initiated on n-type InP(100) on presensitized surfaces. To create this presensitization, defect patterns were written into the surface by focused ion beam (FIB) implantation of Si++. These implant sites represent initiation sites for pore growth or for selective material dissolution in the patterns, if anodic polarization is carried out positive to the pore formation potential (PFP) of the defective surface but cathodic to the PFP of the intact surface. A variety of internal and external factors were found to influence the selectivity of the process. Parameters that significantly affect the morphology are polarization voltage, implantation dosage, the time and the anion present in the electrolyte. In the present work it is shown, that pore formation in 1 M HF only occurs for a small potential range and a certain dosage range of the implanted Si++ ions. At other potentials or dosages, a homogenous dissolution of the implanted patterns takes place. Apart from direct selective porosification of InP surfaces, the process described can be used for a selective surface patterning.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».