Non-linear effects in ICP: theory and experiments
Notice bibliographique
Résumé
Summary form only given. Operation of a low pressure inductively coupled plasma (ICP) at low driving frequency leads to increased values of the RF magnetic field and thus to enhancement of nonlinear effects due to RF Lorentz force typically negligible at 13.56 MHz. In recent years ICP experiments in low frequency regime have demonstrated generation of strong upper harmonics of the electrostatic potential and electric current in the ICP skin layer. A significant modification of the plasma profile by ponderomotive force has been demonstrated in a low frequency ICP, but the ponderomotive force found in experiment appeared to be significantly smaller than that predicted by classical formula for cold plasma. We review recently obtained experimental results on nonlinear effects in a low frequency cylindrical ICP with a planar coil and present a theory of these phenomena. We show that generation of nonlinear harmonics in RF potential and RF current are due to action of different parts of the RF Lorentz force; its potential part gives rise to potential oscillations, while its solenoidal part (existing only in a dissipative plasma) is responsible for generation of nonlinear current. A generalized theoretical model for nonlinear effects in two-dimensional cylindrical ICP, accounting for potential and solenoidal parts of the RF Lorentz force, has been formulated within a magneto-hydrodynamic approach.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».