Creating direct-write gray-scale photomasks with bimetallic thin film thermal resists
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
New types of analog gray-scale laser direct-write masks have been created using bimetallic thermal resists and a direct- write laser process. Bimetallic resists consist of two layers of thin films, eg. Bi over In or Sn over In, which react to form a low temperature alloy when a laser raises the films above the eutectic temperature. Depending on the exposure energy, resulting alloyed layers appear to become oxides, causing a change of absorption at 365nm from >3OD to <0.3OD. The thermal resists show near wavelength invariance from IR to UV. The Sn/In films, each layer ~40 nm thick, were DC-sputtered onto glass slides or quartz substrates. To make gray-scale photomasks the samples were placed on a computer-controlled high accuracy X-Y table. A bitmap gray-scale pattern was raster-scanned with a CW Argon laser (514 nm) beam. An optical shutter controlled the actual laser power applied onto the thermal resist film according to the gray-scale value. When exposed to a laser beam greater than 0.6 W, the Sn/In film became nearly transparent (0.22OD) at I-line (365nm) wavelength. Sn/In and Bi/In photomasks have been used together with a standard mask aligner to successfully pattern Shipley SPR2FX-1.3 photoresist. CF<sub>4</sub>/O<sub>2</sub> plasma etching has been used to transfer the three-dimensional pattern to SiO<sub>2</sub> and Si substrates. Also a 160 beam laser diode thermal imaging tool was used to create BiIn direct-write binary masks.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle