Notice bibliographique
Résumé
In recent years, the optical application of MEMS (MOEMS, micro-opto-electro-mechanical-system) is widely studied, because of its intrinsic benefits [P. Rai-Choudhury, 2000][Hiroyuki Fujita et al., 2000]. One of most striking development is MOEMS sensors. The feature size and motion of MEMS devices are in the range of sub-micrometer, which make MEMS an effective mechanism to realize optical interference, hence a sensor system can be achieved by monitoring these micro-interferometers. This work reports a whole process of modeling, fabrication, and measurement of an optical MEMS sensor system. The sensor tip is designed as a Fabry-Perot cavity etched on the silicon chip, light is incident from the optical fiber, and simultaneously the reflected optical signal from the cavity is monitored. When certain ambient change forced on the tip, the membrane of the cavity vibrates deviating from resonance; consequently the reflected light is changed by means of central wavelength shift, and power degradation. CMOS modeling tools are used, to design the tip prototype and the fabrication process. Single mode fiber links between the tip and source/detector, the light source is 1550 nm broadband. Both OTDR and OSA are used to precisely decode the magnitude of ambient change. Next, the analogous sensor tips are reproduced and arrayed to realize a sensor network, thus a momentary impact will be positioned as well as quantified through spatial division multiplex [K.T.V Grattan et al., 2000]. Upon the performances, MOEMS sensor is compared with other possible sensing mechanisms, with regard to the physical features, sensing results, fabrication easiness, and application limits.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,009 | 0,006 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».