Focus characterization using end of line metrology
Notice bibliographique
Résumé
A new method is introduced to measure relative focus using conventional optical overlay instruments. Optical end of line metrology (OELM), is based on patterning a wide frame in which adjacent sides are constructed of submicron sized lines that run perpendicular to the center opening. Because truncation is size dependent, line and space features exhibit significantly more line shortening effects than the solid sections. When measured with a conventional optical overlay tool, the difference in line shortening between the solid and line and space sections are measured as an alignment offset, which is a relative measure of actual line shortening. Reproducibility for measuring the apparent misalignment of these modified box-in-box structures was 3 nm (3/spl sigma//sup est/), which is similar to the repeatability for measuring conventional resist box in box alignment boxes. Truncation is sensitive to focus and the utility for using OELM toward characterizing focus-dependent lens parameters was investigated. Estimated 3/spl sigma/ for calculating best focus and astigmatism were 0.04 /spl mu/m and 0.01 /spl mu/m, respectively. Focus corrections were accurate to 0.05 /spl mu/m within /spl plusmn/0.3 /spl mu/m of best focus. Additionally, a general method is presented to estimate the error in the calculated best focus.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,002 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».