Theory of Thermoelastic Damping in Micromechanical Resonators With Two-Dimensional Heat Conduction
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Analysis of thermoelastic damping (TED) is an important component of the design of low-loss vacuum-operated micro- and nanomechanical resonators used in microelectro- mechanical systems (MEMS). The quasi-1-D theories developed by Zener in 1937, and subsequently improved by Lifshitz and Roukes in 2000, are now widely used in MEMS design. This paper presents an exact theory for TED with 2-D heat conduction that enables a detailed evaluation of the accuracy of the quasi-1-D theories. A Green's function method is used to solve the 2-D heat- conduction equation, and an expression for TED is derived in the form of an infinite series. The effects of beam geometry, length-to- thickness aspect ratio, natural frequency, flexural mode shapes, and structural boundary conditions on TED are investigated for the representative case of single-crystal silicon microbeam resonators. The errors in the exact quasi-1-D theory range from 2% to 80% depending upon the aspect ratio and the mode shape. Implications for the use of the quasi-1-D and 2-D theories in MEMS design are discussed. [2007-0199].
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle