Laser micromachining for microfluidic, microelectronic and MEMS applications
Notice bibliographique
Résumé
"Summary form only given". Laser micromachining of dielectrics and metals is a versatile fabrication and repair tool for applications in micro-fluidics, microelectronics and MEMS. Issues such as ablation threshold, ablation rate, incubation of damage at subthreshold fluences, edge resolution, debris creation and residual substrate damage are all important in determining the suitability of this technique for these applications. An extensive study is being carried out on drilling of holes in glasses of interest to microfluidic systems using both nanosecond UV laser pulses at 266 nm and femtosecond pulses at 800 nm. The drill rate and maximum ablation depth has been measured for various holes sizes ranging from 25 to 100 /spl mu/m in diameter. The resultant morphology is measured using an optical microscope and a scanning electron microscope showing that redeposition and loss of beam fluence down the hole limits the maximum hole depth for a given entrance laser fluence. The results indicate that, in some cases at deep depths near the end point of the hole, the shape may no longer be round. Cracking around the entrance of the hole is also observed with nanosecond drilling and a new technique involving heating of the substrate during the laser interaction is being studied to try to reduce the degree of cracking. Redeposition of glass around the entrance of the drilled hole, which complicates applications where contact must be made to an adjoining surface, is another issue. In order to minimize redeposition, techniques of using a protective sacrificial layer are being investigated. In particular, the use of a protective tungsten thin film which can be stripped off, taking the overcoated debris with the film, is being investigated. In order to understand the microscopic processes occurring within the material and to predict the expected ablation thresholds, ablation rates and residual damage to the material structure, a molecular dynamics simulation code is under development to model the ablation of silicon and the ablation of glasses. Current experimental results and theoretical understanding will be presented in this paper.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».