MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W2169384858 · doi:10.2514/6.2001-4982

A comparison of microfabrication and WakeShield's processing requirements

2001· article· en· W2169384858 sur OpenAlexaff
Glenn H. Chapman, Nick Pfeiffer

Notice bibliographique

Revue2001 Conference and Exhibit on International Space Station Utilization · 2001
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSpacecraft Design and Technology
Établissements canadiensSimon Fraser University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMicrofabricationComputer science

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Using orbital vacuum for enhanced semiconductor fabrication was pioneered in the Wake Shield project which produced ultra-high vacuums for epitaxial growth of high quality GaAs like materials. A proposed alternative uses the native Low Earth Orbit vacuum levels to achieve the silicon microfabrication processes needed for manufacturing silicon microchips. Space microfabrication combines many processes that are easier to achieve in LEO, potentially producing a flexible range of Microchips (high value per mass products). However standard terrestrial fabrication techniques are difficult to transfer into the microgravity and vacuum environment of space. They are optimized for using in-situ resources: water, power, air pressure and gravity that are plentiful on Earth. An alternative microfabrication process has been developed using the native vacuum environment which could replace wet terrestrial based microfabrication, with significant savings in equipment size, mass and consumables, while reducing cycle time. Computer models have been developed which compare the standard Earth-based process consumables, power and fabrication time with space-oriented processes resulting in a process flow that is optimized for orbital facilities. ISS based microfabrication testing is possible before developing an integrated orbital microchip facility: FabSat .- a synergistic orbital-based system for microfabrication capable of building and delivering commercially marketable microfabricated structures and devices.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Simulation ou modélisation · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,827
Score d'incertitude au seuil0,435

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,086
Tête enseignante GPT0,344
Écart entre enseignants0,258 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSimulation ou modélisation
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations0
Publié2001
Routes d'admission1
Résumé présentoui

Explorer davantage

Même revue2001 Conference and Exhibit on International Space Station UtilizationMême sujetSpacecraft Design and TechnologyTravaux en français237 207