Influence of Deuterium and Platinum on the Thermal Oxidation of GaAs
Notice bibliographique
Résumé
The thermal oxidation of GaAs at 500°C in labeled has been studied with gas phase analysis, Auger electron spectroscopy, secondary ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy. The influence of a few hundred atomic parts per million of deuterium in the GaAs substrate and of surface platinum have been evaluated with respect to oxide growth mechanisms and the degree of As buildup. Deuterium increased the transport from the substrate interface of both Ga and As toward the gas interface thereby lowering the degree of preferential Ga oxidation and As buildup at the substrate interface. Platinum, on the other hand, catalyzed the dissociation of the oxygen molecule at the gas interface and thereby facilitated an increased transport of oxygen toward the substrate interface. That results in an increased overall oxidation rate with a high degree of preferential Ga oxidation and concomitant As buildup. When the oxygen pressure was increased from 20 to 720 mbar, a lowered degree of As buildup was observed due to the lower degree of preferential Ga oxidation. © 2003 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».