Experimental and modeling study of O and Cl atoms surface recombination reactions in O2 and Cl2 plasmas
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
In low-pressure plasmas commonly used in materials processing, plasma–wall inter-actions play a crucial role in the evolution of the plasma properties both over time and across large-area wafers. We have recently studied the heterogeneous recombination of O and Cl atoms on reactor walls in O 2 and Cl 2 plasmas through both experiments and modeling. The Langmuir–Hinshelwood (i.e., delayed) recombination was investigated using a “spinning-wall” technique in which a portion of the substrate surface is periodically exposed to an inductively coupled plasma and to a differentially pumped chamber where either Auger electron spectroscopy (AES) or line-of-sight mass spectrometry (MS) is used to detect surface and desorbing species. In this paper, a review of the various effects driving the O and Cl atoms recombination dynamics on anodized aluminum (AA) and stainless steel (SS) surfaces is presented. It is shown that recombination probabilities, γ , can vary following plasma exposure due to surface conditioning. In Cl 2 plasmas, γ was also found to depend on the Cl-to-Cl 2 number density ratio, a mechanism ascribed to a competition for adsorption sites between Cl and Cl 2 . We have also determined the recombination rates of Cl atoms in Cl 2 high-density plasmas sustained by electromagnetic surface waves by comparing the measured degrees of dissociation of Cl 2 to those predicted by an isothermal fluid model. For a reactor with large SS and quartz surfaces exposed to the plasma, γ values and their dependence on the Cl-to-Cl 2 number density ratio were consistent with those obtained from the rotating substrate technique. Similar values were obtained for plasmas sustained in a quartz discharge tube. It is expected that for plasmas sustained in or adjacent to a silica tube or plate, the Cl atoms recombination coefficient becomes independent of chamber wall material due to reactor seasoning, producing a silicon-oxychloride layer.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle