Amorphous-crystalline silicon interface prepared using DC saddle-field pecvd
Notice bibliographique
Résumé
The DC saddle field glow discharge method was used to deposit a-Si:H in order to passivate c-Si surfaces. The process temperature and the thickness of the a-Si:H films were varied. In addition subsequent annealing of the samples were studied. Passivation quality of the a-Si:H overlayers were studied by measuring the effective minority carrier lifetime in the heterostructures as a function of the minority carrier density in the c-Si wafer. These results are then used to model the surface recombination mechanism in our samples. The defect density and the charge density at the interface are inferred which helps us to distinguish between the effects of electric field and chemical passivation at the interface. It is shown that for our intrinsic a-Si:H samples improvements in surface passivation are directly correlated with the reduction of interface defect density and field effect passivation is minimal. We have achieved surface passivation with effective carrier lifetime > 5 ms for a 40 nm intrinsic a-Si:H sample deposited at a process temperature of 200°C. It is also demonstrated that subsequent annealing, at 240°C, of the samples which were prepared at process temperatures < 240°C drastically increases the effective lifetime.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».