Pressure sensing in vacuum hermetic micropackaging for MOEMS-MEMS
Notice bibliographique
Résumé
Packaging constitutes one of the most costly steps of MEMS/MOEMS manufacturing. Uncooled IR bolometers require a vacuum atmosphere below 10 mTorr to operate at their highest sensitivity. The bolometer response is also dependent on the package temperature. In order to minimize cost, real estate and power consumption, temperature stabilization is typically not provided to the package. Hence, long term high sensitivity operation of IR bolometric radiometers requires a calibration as function of in package pressure and temperature. A low-cost and accurate means of measuring the pressure in the package without being affected by the operating temperature is therefore needed. INO has developed a low-cost, low-temperature hybrid vacuum micropackaging technology 1-3. An equivalent flow rate of 4×10-14 Torr·L/sec for storage at 80°C has been obtained without getter. Even with such low flow, the long term stabilization of residual pressure variations affects the sensitivity and calibration of the IR bolometers. INO has developed MEMS pressure sensors that allow for real-time measurement of package pressure above 1 mTorr, and can be integrated with the IR bolometers in a die-level packaging process or microfabricated simultaneously on the same die. In this paper, the typical performance and measurement uncertainty of these pressure sensors will be presented along with a reading method that provides a pressure measurement with a dependence on the package temperature as low as 0.7 %/°C. Complex reading circuit or temperature control of the packages are not required, making the pressure sensor well adapted for low-cost high-volume production and integration with IR bolometer arrays.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».