1Kbit FinFET Dielectric (FIND) RRAM in pure 16nm FinFET CMOS logic process
Notice bibliographique
Résumé
A fully CMOS process compatible FinFET Dielectric RRAM (FIND RRAM) is firstly proposed and demonstrated by 1kbit RRAM macro on 16nm standard FinFET CMOS logic platform. The new 16nm low voltage FIND RRAM consists of one FinFET transistor for select gate and an HfO2-based resistive film for a storage node of the cell. The FIND RRAM largely improves the set and reset characteristics by the locally enhanced field at fin corners and results in a low set voltage and reset current in array operation. Besides, by adopting the 16nm FinFET CMOS logic process, the FIND RRAM is shrink to an aggressive cell size of 0.07632μm2 without additional mask or process step. The low voltage operation, excellent reliability, and very stable LRS/HRS window are all realized in the new fabricated 1kbit macro. They all support the new FIND RRAM technology is a promising embedded NVM in the coming FinFET era.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».