Fabrication of large dual-polarized multichroic TES bolometer arrays for CMB measurements with the SPT-3G camera
Notice bibliographique
Résumé
This work presents the procedures used at Argonne National Laboratory to fabricate large arrays of multichroic transition-edge sensor (TES) bolometers for cosmic microwave background (CMB) measurements. These detectors will be assembled into the focal plane for the SPT-3G camera, the third generation CMB camera to be installed in the South Pole Telescope. The complete SPT-3G camera will have approximately 2690 pixels, for a total of 16 140 TES bolometric detectors. Each pixel is comprised of a broad-band sinuous antenna coupled to a Nb microstrip line. In-line filters are used to define the different bands before the millimeter-wavelength signal is fed to the respective Ti/Au TES bolometers. There are six TES bolometer detectors per pixel, which allow for measurements of three band-passes (95, 150 and 220 GHz) and two polarizations. The steps involved in the monolithic fabrication of these detector arrays are presented here in detail. Patterns are defined using a combination of stepper and contact lithography. The misalignment between layers is kept below 200 nm. The overall fabrication involves a total of 16 processes, including reactive and magnetron sputtering, reactive ion etching, inductively coupled plasma etching and chemical etching.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».