Quantitative Surface Coverage Calculations via Solid-State NMR for Thin Film Depositions: A Case Study for Silica and a Gallium Amidinate
Notice bibliographique
Résumé
For the interrogation of precursor nucleation for vapor deposition processes like atomic layer deposition (ALD) and chemical vapor deposition (CVD), a modified method for quantitative analysis of surface coverage was undertaken via NMR. The initial chemisorption of a new gallium(III) alkyl amidinate compound was investigated on high-surface area silica. N, N ′-Diisopropylacetamidinatediethylgallium(III) ( 2 ) was found to have excellent volatility with no decomposition during a ramped thermogravimetric analysis experiment. Stepped-isotherm experiments showed a 1 Torr vapor pressure at 64 °C. Compound 2 was exposed to a pretreated high-surface area silica substrate at 100, 200°, and 300 °C and was found to exhibit stable, persistent chemisorbed surface species at all three temperatures. Substrates were analyzed by 29 Si and 13 C solid-state nuclear magnetic resonance spectroscopy (SS-NMR) and 1 H high-resolution NMR. At 100 and 200 °C the reactivity of compound 2 to geminal and lone hydroxyl surface sites varied slightly eliminating either one or both ethyl groups to produce an alkylated (or nonalkylated) gallium acetamidinate on the silica surface and producing fractional coverages of 0.087–0.088. At 300 °C there was a larger degree of reactivity producing a minor amount of the same surface species as at 100 and 200 °C but also producing additional chemisorbed products likely arising from the decomposition of the ligand framework but ultimately giving a fractional coverage of 0.232 on hydroxyl-terminated silica.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».