Effect of Substrate Temperature on (Micro/Nano)Structure of a-SiC:H Thin Films Deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering.
Notice bibliographique
Résumé
The nature of the hydrogen bonds and their influence on film (micro/nano)structure has been investigated as a function of substrate temperature T S (200–500 °C) in hydrogenated amorphous silicon carbide (a-SiC:H) thin films. These films were prepared by radio-frequency magnetron sputtering at a common pressure and high hydrogen dilution in the gas phase mixture (Ar + 80% H 2 ). Infrared absorption and Raman spectroscopy experiments have been carried out to characterize the (micro/nano)structure of different series as a function of T S . The results of Fourier transform infrared spectroscopy indicate that all series are characterized by the presence of the low Si–H n and C–H n bond concentration and no absorption band at 2000 cm –1 attributed to isolated monohydride Si–H can be detected, which suggests that the hydrogen is predominantly bonded as polyhydride groups (Si–H 2 ) n, giving the band at 2090 cm –1 . The concentration of the Si–C bond and the crystalline fraction, which increase with increasing T S, show an improvement in the crystallinity of the films. The influence of T S on the growth of crystalline nanograins is studied by Raman spectroscopy. At temperatures T S ≥ 200 °C, these films contain Si–C crystallites in addition to the Si nanocrystals distributed in the amorphous network. The Si crystallite size is unaffected by the increase of T S but the size of graphitic domains is reduced and their distribution becomes more disordered. Results of Raman spectroscopy show also that the high values obtained for the line width of transverse acoustic TA-like band toward low frequencies justifies the deconvolution of infrared spectra taking into account the doublet (845 and 910 cm –1 ). The results of this paper therefore shed light on the origin of amorphous and nanocrystalline structure in the a-SiC:H thin films, which has been a subject of debate for decades.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».