Thermal Chemistry of Cu(I)-Iminopyrrolidinate and Cu(I)-Guanidinate Atomic Layer Deposition (ALD) Precursors on Ni(110) Single-Crystal Surfaces
Notice bibliographique
Résumé
The thermal chemistry of tetrakis[Cu(I)- N - sec -butyl-iminopyrrolidinate] and bis[Cu(I)- N,N -dimethyl- N ′,N ″-di- iso -propyl-guanidinate], promising precursor for atomic layer deposition (ALD) applications, was investigated on a Ni(110) single-crystal under ultrahigh vacuum (UHV) conditions by using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and temperature-programmed desorption (TPD). Both precursors, which exist as tetramers and dimers in the solid phase, respectively, undergo dissociative adsorption at temperatures below 200 K to produce adsorbed monomers on the surface. A β-hydride elimination step is then operative near 300 K that leads to the release of some of the ligands in dehydrogenated form. The remaining adsorbates obtained from either precursor undergo similar further decomposition between 350 K and 600 K as the Cu atoms are reduced from a Cu(I) oxidation state to metallic Cu(0). Hydrocarbons resulting from the elimination of the terminal moieties include ethene and acetonitrile from the Cu(I)-iminopyrrolidinate and propene from the Cu(I)-guanidinate, which are ejected at ∼420–490 K, and HCN in both cases at ∼570–580 K. These results shows several similarities with the surface chemistry previously reported for bis[Cu(I)- N,N ′-di- sec -butyl-acetamidinate], and they suggest a common behavior in the surface reactions of these families of Cu(I)-amidinate, Cu(I)-iminopyrrolidinate, and Cu(I)-guanidinate ALD precursors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».