Solid-phase crystallization of high growth rate amorphous silicon films deposited by gas-jet electron beam plasma CVD method
Notice bibliographique
Résumé
Solid phase crystallization of amorphous silicon films (a-Si:H) deposited by gas-jet electron beam plasma chemical vapor deposition method and annealed at 700 °C in vacuum has been investigated. This method provides high deposition rates (up to 2.3 nm/s) of a-Si:H thin films in a standard vacuum chamber. The effects of varying the substrate temperature from 190 to 415 °C on the structural and optical properties of the as-deposited amorphous films and postannealed nanocrystalline films have been investigated. The crystallite size was determined by X-ray diffraction (about 5–8 nm) and agrees with that obtained from Raman scattering. The estimated degree of crystallinity was 45%–59%. Optical transmission spectra were recorded to investigate the optical properties and thickness of the silicon thin films. The refractive index and optical band gap data was obtained for both as-deposited amorphous and post-annealed nanocrystalline silicon. The behavior of the refractive index of nanocrystalline silicon depending on the substrate temperature is correlated with the crystalline volume fraction. a-Si:H films obtained at low temperatures have larger crystallite size and better crystallinity after annealing.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».