Evidence of sub-10 nm aluminum-oxygen precipitates in silicon
Notice bibliographique
Résumé
In this research, ultraviolet laser-assisted atom-probe tomography (APT) was utilized to investigate precisely the behavior at the atomistic level of aluminum impurities in ultrathin epitaxial silicon layers. Aluminum atoms were incorporated in situ during the growth process. The measured average aluminum concentration in the grown layers exceeds by several orders of magnitude the equilibrium bulk solubility. Three-dimensional atom-by-atom mapping demonstrates that aluminum atoms precipitate in the silicon matrix and form nanoscopic precipitates with lateral dimensions in the 1.3 to 6.2 nm range. These precipitates were found to form only in the presence of oxygen impurity atoms, thus providing clear evidence of the longhypothesized role of oxygen and aluminum-oxygen complexes in facilitating the precipitation of aluminum in a silicon lattice. The measured average aluminum and oxygen concentrations in the precipitates are ∼10 ± 0.5 at.% and ∼4.4 ± 0.5 at.%, respectively. This synergistic interaction is supported by first-principles calculations of the binding energies of aluminum-oxygen dimers in silicon. The calculations demonstrate that there is a strong binding between aluminum and oxygen atoms, with Al-O-Al and O-Al-Al as the energetically favorable sequences corresponding to precipitates in which the concentration of aluminum is twice as large as the oxygen concentration in agreement with APT data.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».