Growth conditions effects on the H<sub>2</sub>and CO<sub>2</sub>gas sensing properties of Indium Tin Oxide
Notice bibliographique
Résumé
Indium Tin Oxide (ITO) thin films are transparent conducting wide bandgap oxide. In this study investigated optical, structural and morphological properties of sputtered ITO thin films using X-ray diffraction spectroscopy (XRD), Scanning electron microscopy (SEM), Energy Dispersive Spectroscopy (EDX) and optical absorption techniques. These measurements revealed that the oxygen gas percentage present in the ITO film deposited by RF magnetron sputter deposition showed systematic variation of its band gap, crystal orientation, growth rate, figure of merit (FOM) and dominant XRD peaks. All the thin films deposited at room temperature (RT). Once characterization of the films carried out, H 2 and CO 2 resistive gas sensors fabricated by depositing the ITO film on top of aluminium interdigitated contacts/electrode (IDE), that fabricated following lithography and etching processes. These devices showed reasonable sensitivity for pure H 2 and CO 2 at elevated temperature. A correlation found between the thin film properties of the ITO and its sensing capability for H 2 and CO 2 , which these gases are important in many fields such as automotive, energy, biological and health-related applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».