Effect of Substrate Temperature on the AZO Films Grown by AACVD Technique
Notice bibliographique
Résumé
Al-doped ZnO thin films(AZO) fabrication technique with low cost,large area,high deposition rate,well uniformity and excellent optical and electrical properties has been one of the most important aims in the transparent conductive oxide films research field.AZO thin films were grown on the glass substrates by cold-wall aerosol-assisted chemical vapour deposition(AACVD) method in this paper.Structural,optical and electrical properties of AZO films grown at different substrate temperature were investigated in detail.The samples were tested by X-Ray Diffraction,Atomic Force Microscopy,UV-Vis and Photoluminescence Spectroscopy.Results indicate that influence of the substrate temperature on the preferred orientation growth of AZO films appears undulant change during the course of AZO film deposited by AACVD.Distinct electrical properties transition takes place at around 400 ℃.Optical properties and preferred orientation growth of the ZnO films transition take place at around 450 ℃.Microcosmic mechanism was discussed that the effect of substrate temperature on the structural,optical and electrical properties of AZO films grown by AACVD method.Sheet resistance and the average transmittances in the visible regions of AZO films grown at 400 ℃ is about 190 Ω/□,80% respectively.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».