Synthesis of Narrow Molecular Weight Distribution Copolymers for ArF Photoresist Materials by Nitroxide Mediated Polymerization
Notice bibliographique
Résumé
ArF candidate photoresist polymers have been synthesized by nitroxide mediated polymerization (NMP). Statistical copolymerizations of α‐gamma butyrolactone methacrylate, 3‐hydroxy‐1‐adamantyl methacrylate, and 2‐methyl 2‐adamantyl methacrylate with 5–10 mol% of controlling comonomers (i.e., styrene, p‐acetoxystyrene, 2‐vinyl naphthalene, acrylonitrile, and pentafluorostyrene), which are necessary for controlled polymerization of methacrylates by NMP with the unimolecular alkoxyamine initiator BlocBuilder, have been used. As little as 5 mol% controlling comonomer in the feed is demonstrated to be sufficient to produce linear evolution of number average molecular weight against conversion ( X ) up to X = 0.7 for relatively low target degrees of polymerization. All of the resulting copolymers have relatively low dispersities and show relatively low absorbance at 193 nm, comparable to other 193 nm candidate photoresists reported previously, with the exception of VN‐containing copolymer. image
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».