Self-organized growth of graphene nanomesh with increased gas sensitivity
Notice bibliographique
Résumé
A bottom-up chemical vapor deposition (CVD) process for the growth of graphene nanomesh films is demonstrated. The process relies on silicon nanospheres to block nucleation sites for graphene CVD on copper substrates. These spheres are formed in a self-organized way through silicon diffusion through a 5 μm copper layer on a silicon wafer coated with 400 nm of silicon nitride. The temperature during the growth process disintegrates the Si3N4 layer and silicon atoms diffuse to the copper surface, where they form the nanospheres. After graphene nanomesh growth, the Si nanospheres can be removed by a simple hydrofluoric acid etch, leaving holes in the graphene film. The nanomesh films have been successfully transferred to different substrates, including gas sensor test structures, and verified and characterized by Auger, TEM and SEM measurements. Electrical/gas-exposure measurements show a 2-fold increase in ammonia sensitivity compared to plain graphene sensors. This improvement can be explained by a higher adsorption site density (edge sites). This new method for nanopatterned graphene is scalable, inexpensive and can be carried out in standard semiconductor industry equipment. Furthermore, the substrates are reusable.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».