(Invited) Selection of Channel Layer for the Vertical Oxide TFT
Notice bibliographique
Résumé
With the development of the virtual reality and augmented reality displays, ultra-high resolution displays become one of the big concerns. People would not be bothered by display pixels when taking closer look at display with the resolution higher than 2000 ppi. The most important factor in the ultra-high resolution display is the pixel area and the smallest TFT size would be the first criteria in the TFT point of view. Although back channel etch (BCE) TFT and self-aligned (SA) TFT have been used for driving high resolution LCD and OLED, respectively, typical planar structured TFT would not permit display with ultra-high resolution. The vertical TFT with the smallest pixel pitch value among the TFT structures is suitable candidate. Furthermore, channel length of the vertical TFT can be precisely controlled by the thin film thickness of spacer. This results in high and uniform on-current of TFT. Meanwhile, vertical TFT can also provide channel length longer than the sub-pixel length. When we have to apply high gate voltage depending on the display mode, TFT with longer channel length within smaller sub-pixel size would be necessary. One of the advantages of oxide TFTs lies in the freedom of selection of architecture, materials, and process depending on the device application. Considering the main issue in the vertical TFT, the step coverage of active layer, oxide TFT seems to be the best selection. Oxide semiconductor and gate insulator used for the oxide TFT can be deposited by means of plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD), which provides excellent step coverage of films. One of the issues in vertical oxide TFT is the relatively high off-current depending on the mobility of TFT due to the short channel length. Here, we compare the performance of vertical oxide TFTs with the variation of semiconductor’s carrier density. By virtue of the easiness for the modifying carrier concentration of InOx based semiconductor, we could adjust the mobility of vertical TFT with low off-current. Vertical TFT with InOx shows 1.26 mA at Vg = 5 V and Vds = 2.1 V, S.S of 0.14 V/dec., on/off ratio of 10 7 , and Von of -1.8V. Meanwhile at the same driving condition, IGZO shows on-current of 0.23 mA, S.S of 0.12 V/dec., on/off ratio of 10 8 and Von of -0.2V. We will discuss the best selection for the channel layer of vertical TFT depending on the display mode and show the optimized TFT performance depending on the carrier concentration of semiconductors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».