Passivation Effects on Low-Temperature Gettering in Multicrystalline Silicon
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Annealing at ≤ 500 °C changes minority carrier lifetime in as-grown multicrystalline silicon substantially. Part of the change arises from internal gettering of impurities, but surface passivation for lifetime measurement results in additional effects. We report experiments that aim to clarify the role of passivation. Long-term annealing (up to 60 h) is performed on silicon nitride passivated multicrystalline silicon, and lifetime and interstitial iron concentrations are monitored at each processing stage. Lifetime in all samples is improved under certain conditions, with improvements always achieved at 400 °C. Increases are pronounced in low-lifetime bottom samples, with improvement by a factor of 2.7 at 400 °C or 3.8 at 500 °C. Important differences are found compared with our previous study with iodine-ethanol passivation. First, as-received lifetime is higher with silicon nitride not due to a substantial difference in surface recombination. Second, while interstitial iron concentrations often initially increase with iodine-ethanol, they tend to reduce with silicon nitride. Third, lifetime in high-lifetime samples reduces substantially with iodine-ethanol but increases with silicon nitride. Secondary ion mass spectrometry reveals high iron concentrations in annealed silicon nitride. Results are discussed in terms of gettering of impurities to, and bulk passivation arising from, silicon nitride films.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle