<i>In situ</i>oxygen plasma cleaning of microswitch surfaces—comparison of Ti and graphite electrodes
Notice bibliographique
Résumé
Ohmic micro- and nanoswitches are of interest for a wide variety of applications including radio frequency communications and as low power complements to transistors. In these switches, it is of paramount importance to maintain surface cleanliness in order to prevent frequent failure by tribopolymer growth. To prepare surfaces, an oxygen plasma clean is expected to be beneficial compared to a high temperature vacuum bakeout because of shorter cleaning time (<5 min compared to ~24 h) and active removal of organic contaminants. We demonstrate that sputtering of the electrode material during oxygen plasma cleaning is a critical consideration for effective cleaning of switch surfaces. With Ti electrodes, a TiOx layer forms that increases electrical contact resistance. When plasma-cleaned using graphite electrodes, the resistance of Pt-coated microswitches exhibit a long lifetime with consistently low resistance (<0.5 Ω variation over 300 million cycles) if the test chamber is refilled with ultra-high purity nitrogen and if the devices are not exposed to laboratory air. Their current–voltage characteristic is also linear at the millivolt level. This is important for nanoswitches which will be operated in that range.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».