Surface chemistry of group 11 atomic layer deposition precursors on silica using solid-state nuclear magnetic resonance spectroscopy
Notice bibliographique
Résumé
The use of chemical vapour deposition (CVD) and atomic layer deposition (ALD) as thin film deposition techniques has had a major impact on a number of fields. The deposition of pure, uniform, conformal thin films requires very specific vapour-solid reactivity that is largely unknown for the majority of ALD and CVD precursors. This work examines the initial chemisorption of several thin film vapour deposition precursors on high surface area silica (HSAS) using 13C, 31P, and quantitative 29Si nuclear magnetic resonance spectroscopy (NMR). Two copper metal precursors, 1,3-diisopropyl-imidazolin-2-ylidene copper (I) hexamethyldisilazide (1) and 1,3-diethyl-imidazolin-2-ylidene copper(I) hexamethyldisilazide (2), and one gold metal precursor, trimethylphosphine gold(III) trimethyl (3), are examined. Compounds 1 and 2 were found to chemisorb at the hydroxyl surface-reactive sites to form a ||–O–Cu–NHC surface species and fully methylated silicon (||–SiMe3, due to reactivity of the hexamethyldisilazane (HMDS) ligand on the precursor) at 150 °C and 250 °C. From quantitative 29Si solid-state NMR (SS-NMR) spectroscopy measurements, it was found that HMDS preferentially reacts at geminal disilanol surface sites while the copper surface species preferentially chemisorbed to lone silanol surface species. Additionally, the overall coverage was strongly dependent on temperature, with higher overall coverage of 1 at higher temperature but lower overall coverage of 2 at higher temperature. The chemisorption of 3 was found to produce a number of interesting surface species on HSAS. Gold(III) trimethylphosphine, reduced gold phosphine, methylated phosphoxides, and graphitic carbon were all observed as surface species. The overall coverage of 3 on HSAS was only about 10% at 100 °C and, like the copper compounds, had a preference for lone silanol surface reactive sites. The overall coverage and chemisorbed surface species have implications to the overall growth rate and purity of metal films grown with these precursors.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».