Thin micro-cold plate for hot-spot aware chip cooling
Notice bibliographique
Résumé
This work proposes a non-invasive and hot spot aware cooling approach by stacking a micro-cold plate at the backside of a chip. With trends such as 3D stacking and hotspot generation, microelectronics face major cooling challenges to ensure chip performance and reliability. It makes the liquid microchannel solutions more adapted than conventional air cooling for both space and heat removal. One approach is to concentrate the cooling in the vicinity of the heat sources to help to judiciously use the pumping power and contribute to keep the cooling solution thin and easily integrated. An experimental micro-cold plate has been fabricated through wafer level produced microchannels, capped with die-to-wafer pick-and-place operation. The microchannels from the cooling die are formed by Si DRIE and the die is capped with a Si wafer attached by SiNR adhesive on one side. An epoxy adhesive is then bonded to a thermal test chip with metallic lines as heaters and temperature sensors for a total stack thickness of 1.5 mm. It has then been characterized on a dedicated test bench. A cooling resistance of 3.5 °C/W is achieved with an electric power of only 1.2 W, showing a coefficient of performance of 5770 in respect of an hydraulic power of 2.6 mW and with a 609 W/cm <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">2</sup> heat flux. Finally, such micro-cold plate could be used as an “add-on solution” in applications where space and pumping power are limited, independently of the chip thickness or the possibility of etching its back surface.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».