Tris(dimethylamido)aluminum(III): An overlooked atomic layer deposition precursor
Notice bibliographique
Résumé
Aluminum oxide and aluminum nitride-containing films were grown by atomic layer deposition (ALD) and plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) by employing an under-utilized tris(dimethylamido)aluminum(III) precursor. This compound has not been reported as a precursor for ALD of alumina previously, and has only been reported as an AlN precursor for a thermal process using ammonia as a coreagent. Thermogravimetric analysis demonstrates its excellent volatility and thermal stability, both of which are ideal characteristics for an ALD precursor. Aluminum oxide films were deposited thermally using water as a coreagent. By x-ray photoelectron spectroscopy, the films appeared nearly pristine with only adventitious carbon on the surface accumulated postdeposition that was easily removed with 2 min of Ar+ sputtering. The rest of the films contained a very low 1.4% impurity of carbon. Aluminum nitride films were attempted using the same aluminum precursor with nitrogen plasma as a coreagent; they contained large amounts of oxygen due to ambient exposure, possible oxidation during characterization, or the presence of incidental oxygen during the deposition of AlN, which allowed the formation of an aluminum oxynitride. Though the composition was not stoichiometrically AlN, the films also contained ∼1% carbon impurities, which is an improvement over many other AlN films reported, particularly those using TMA as a precursor. This precursor shows great promise for the deposition of low-impurity or impurity-free aluminum nitride by PE-ALD.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».