Determination of Reactive RF-Sputtering Parameters for Fabrication of SiOx Films With Specified Refractive Index, for Highly Reflective SiOx Distributed Bragg Reflector
Notice bibliographique
Résumé
Fabricating materials with specific refractive indices, which do not naturally exist in the nature, has always been an issue. This paper presents a method for fabricating SiOxfilms with specified refractive index. It is well known that the refractive index of reactively sputtered SiOxfilms depends on its deposition conditions; in this paper, this fact was employed to fabricate films with arbitrary refractive indices. A statistical study and a Genetic Algorithm are implemented that can determine the deposition conditions (including oxygen partial flow and pressure) for fabricating a film with an arbitrary refractive index in the range of 1.4-4.2. The method was experimentally shown to correctly determine the deposition conditions. The functionality of using the proposed method in fabricating optical components was further evaluated by fabricating a distributed Bragg reflector (DBR) consisting of 4.5 pairs, whose refractive indices of the layers were determined by the proposed method. The DBR featured a high 95% reflection in a bandwidth of more than 270 nm, which can be categorized as a high-quality DBR. The advance of the proposed method is that the films are made from a single target source without making any physical changes in the target or substrate positions.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».