Electrodeposition of multilayer cantilevers for MEMS applications
Notice bibliographique
Résumé
An automated electrodeposition process has been developed to produce low-stress freestanding metallic cantilevers for rf MEMS applications. The cantilevers are made of multiple layers of three different materials to achieve stress compensations. The fabrication is carried out using a PC-controlled deposition system developed in house. We found that the deposition rate increases with the increase of applied voltages and the thickness of the films has a linear relationship with the deposition time for individual layers. The deposited multilayer films have a smooth surface and are uniform in thickness. The morphology of the films is independent on the thickness of the multilayer films when a moderate deposition rate is adopted. Cantilevers with a single sandwich structure are fabricated and studied. All of the samples have demonstrated freestanding cantilevers with a uniform thickness and smooth surfaces. However, a slightly up bending (or sloping) along the cantilever is observed on all cantilevers regardless the big difference in thickness (ranging from 1.5 μm to 5 μm), which indicates the presence of some uncompensated stress. Cantilevers with a double sandwich structure (with two strengthening material) are also fabricated to further reduce the stress. The relative thickness of the individual layers for the three materials is found to govern the stress compensation process and to control the quality of the cantilevers. The strengthening layer not only plays an active role in stress compensation, it also hardens the multilayer films and to cut down the required minimum thickness for the cantilevers. The optimized deposition conditions produce essentially flat cantilevers with a length up to 800 μm. For each sample, the two cantilevers are found to be identical in shape, thickness and morphology.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».