Silicon micromachined ka-band cavities with planar line feeds for use in future generation broadband satellite communications
Notice bibliographique
Résumé
A micromachining technique involving the wet chemical etching of bulk silicon wafers has been used to fabricate deep three-dimensional cavity resonators at 30 GHz. Previous attempts at forming cavities using silicon micromachining have been inhibited by the shallow depth of the cavities, which were on the order of a single wafer thickness (∼0.5 mm). This seriously degrades the available unloaded Q-factor (Q 0 ) of the cavity, which is proportional to the total cavity volume. In addition, there are added contact resistances and air-gaps due to the bonding of the wafers that are unavoidable for these cavity designs. In contrast, our technique has tried to address these issues, by introducing a two-sided etching process that allows for much deeper cavities, thus increasing the available Q 0 . This procedure also makes the alignment of the etched wafer sections much easier, which was another obstacle of past research efforts. Most importantly though, this process allows the cavity structure to be metallized after the wafers are stacked together to form the 3-dimensional shape. This enables the air-gaps and contact resistances, which appear after the wafer bonding, to be covered up and therefore their effects are reduced.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».