CO2 laser direct writing of optical waveguides in silica thin films on silicon
Notice bibliographique
Résumé
The development of low-loss, low-cost, and stable passive waveguide devices has been a major focus of research in the past few decades. Several techniques have been proposed in which direct laser writing is one of the more appealing methods since complex photolithography may no longer be required. These techniques are based on the creation of a core region by laser-induced refractive index change. Direct UV writing is one of these techniques but its application is normally restricted to highly photosensitive materials such as germania doped silica [1]. Femto-second laser writing has been used to circumvent this problem: the technique allows the creation of waveguides in a variety of bulk materials [2]. However, these methods modify the properties of the material in the exposed core region, the waveguide formation process is slow due to the writing speed of the order of 100 μm/sec [2], and are expected to cause damage in nonlinear materials. In this paper we demonstrate a simple and novel technique that allows the creation of optical waveguides in silica thin films on silicon by removing material to leave behind a core region, being defined as a region between two trenches. The proposed process is distinct from other laser writing techniques as the structure of the core region is preserved since only the cladding area is modified. Even though two trenches are required to create a waveguide the overall fabrication time is orders of magnitude shorter than with other direct laser writing techniques as the writing speed is of the order of 50 mm/sec. We believe this technique is also useful for the fabrication of waveguide devices in nonlinear materials e.g. PPLN, KTP, BBO etc. and particularly in poled glasses.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».