Threading dislocations in MBE grown AlInSb metamorphic buffers: Revealed and counted
Notice bibliographique
Résumé
The authors compare four methods to investigate the threading dislocations (TDs) observed in metamorphic buffers used in the growth of InSb quantum well on GaAs (001) substrates. Three types of buffers with varying number of Al0.24In0.76Sb interlayers (N = 0, 1, and 3) were studied. Cross-sectional scanning transmission electron microscopy (STEM) revealed an effective dislocation filtering by the interlayers. Individual TDs were identified with atomic-force microscopy (AFM) as distinct morphological features of dislocation outcrops on the surface. Threading dislocation density (TDD) is reduced by 1 order of magnitude with three interlayers, consistent with the STEM observation. TDD measured with a scanning electron microscope in electron channeling contrast imaging (ECCI) mode agrees closely with the AFM analysis, except for the N = 0 buffer where the ECCI gives TDD lower by more than a factor of two. The etch pit density of N = 3 buffer, measured with a Nomarski differential interference contrast microscope after defect selective etching (DSE), is almost 1 order of magnitude lower than the TDD measured by AFM and ECCI. Due to the large pit size, the used etching recipe only works well for samples with TDD lower than 107 cm−2. AFM, ECCI, and DSE are excellent alternatives to transmission electron microscopy in the process of metamorphic buffer optimization. The AFM technique offers the additional advantage of high vertical resolution morphology mapping. Such capability is of great importance for the optimization of metamorphic buffers from the perspective of surface smoothness improvement.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,002 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».