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Enregistrement W2598454791 · doi:10.1117/12.2256995

Control of femtosecond laser interference ejection with angle and polarisation

2017· article· en· W2598454791 sur OpenAlexafffund
David M. Roper, Stephen Ho, Moez Haque, Peter R. Herman

Notice bibliographique

RevueProceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE · 2017
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueLaser Material Processing Techniques
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of CanadaUniversity of Toronto
Mots-clésFemtosecondInterference (communication)LaserOpticsMaterials scienceUltrafast opticsOptoelectronicsPhysicsComputer scienceTelecommunications

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The nonlinear interactions of femtosecond lasers are driving multiple new application directions for nanopatterning and structuring of thin transparent dielectric films that serve in range of technological fields. Fresnel reflections generated by film interfaces were recently shown to confine strong nonlinear interactions at the Fabry-Perot fringe maxima to generate thin nanoscale plasma disks of 20 to 40 nm thickness stacked on half wavelength spacing, &lambda;/<i>2n<sub>film</sub></i>, inside a film (refractive index, n<sub>film</sub>). The following phase-explosion and ablation dynamics have resulted in a novel means for intrafilm processing that includes ‘quantized’ half-wavelength machining steps and formation of blisters with embedded nanocavities. This paper presents an extension in the control of interferometric laser processing around our past study of Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> and SiO<sub>x</sub> thin films at 515 nm, 800 nm, and 1044 nm laser wavelengths. The role of laser polarization and incident angle is explored on fringe visibility and improving interferometric processing inside the film to dominate over interface and / or surface ablation. SiO<sub>x</sub> thin films of 1 &mu;m thickness on silicon substrates were irradiated with a 515 nm wavelength, 280 fs duration laser pulses at 0&deg; to 65&deg; incident angles. A significant transition in ablation region from complete film removal to structured quantized ejection is reported for p- and s-polarised light that is promising to improve control and expand the versatility of the technique to a wider range of applications and materials. The research is aimed at creating novel bio-engineered surfaces for cell culture, bacterial studies and regenerative medicine, and nanofluidic structures that underpin lab-in-a-film. Similarly, the formation of intrafilm blisters and nanocavities offers new opportunities in structuring existing thin film devices, such as CMOS microelectronics, LED, lab-on-chips, and MEMS.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,063
Score d'incertitude au seuil0,787

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,009
Tête enseignante GPT0,217
Écart entre enseignants0,208 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations1
Publié2017
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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