Chip Scale 12-Channel 10 Gb/s Optical Transmitter and Receiver Subassemblies Based on Wet Etched Silicon Interposer
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, compact optical subassemblies are demonstrated based on a novel silicon interposer, which is designed and fabricated in a wafer scale process. The interposer includes the design of optical and electrical connections. A low-cost fabrication method, wet etching, is used to define light inputs and outputs as well as create the required recesses in the interposer to embed the chips into the silicon wafer at the same time. Impedance matched traces, for the high speed signals of the CMOS and opto-electronic ICs, are designed using advanced design system software and transferred onto the interposer by photolithography and electro-plating, which are accomplished on the deeply etched topology. The whole process flow of the silicon interposer patterning is designed and demonstrated, and the challenges are discussed. After the process, the optoelectronic dies and their complimentary CMOS parts are flipped and bonded on the interposer in close proximity, and a mechanical optical interface (MOI) is mounted for light coupling. Both transmitter and receiver subassemblies provide 12 parallel optical interconnections, and are scaled down to an area measuring 6 by 8 mm. Signal integrity testing is performed on a probe station for 10 Gb/s data signal delivering clear eye patterns for all channels (in both Rx and Tx subassemblies). The performance is further characterized using bit error rate (BER) testing. Both transmitter and receiver assemblies outperform a reference SFP+, with receiver sensitivity of -10 dBm at a BER lower than 10 <sup xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">-12</sup> after compensating for the MOI insertion loss. Finally, we also test the assemblies for crosstalk and demonstrate that the current design has a maximal additional penalty lower than 0.2 and 0.8 dB for transmitter and receiver, respectively.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».