On the physics of thick copper film deposition by an innovative thermal evaporation process
Notice bibliographique
Résumé
Steel industry and film deposition technologies are more and more combined to bring innovative and high value added products. The study presents the development of a copper deposition technique based on the evaporation of the metal at elevated temperature (1500 °C) in a high vacuum environment. Such extreme conditions require the complete understanding and control of the experimental setup by modelling the thermal transfers that occur during the evaporation. This process involves the improvement of the deposition efficiency by increasing the directionality of the evaporating gas flow owing to the use of a de Laval nozzle at the top of the evaporator. This innovative deposition technique allows the deposition of copper thick films exhibiting equiaxed grains. Characterisation by scanning electron microscopy, electron-backscattering diffraction and transmission electron microscopy highlight that grain size ranges from 50 to 400 nm. This fine microstructure is inferred to be related to the large oxygen content measured in the films. Furthermore, a large number of twinned grains are observed with a small twin spacing. Since the films are deposited at high deposition rate and low substrate temperature, large quantities of voids are trapped during the film formation. Positron Annihilation Spectroscopy is used to analyse the type of point defects. The preliminary results suggest that the films present a particular type of point defect in which the oxygen solute atoms could be trapped. Finally, nanoindentation revealed large levels of hardness for the films. It is expected that this hardening is a consequence of the small grain size, the large number of twins and the solid solution hardening due to the presence of oxygen.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».