Surface and buried interface layer studies on challenging structures as studied by ARXPS
Notice bibliographique
Résumé
Previous extensive studies were performed at Surface Science Western on the treatment of III‐V semiconductors to produce surfaces suitable for subsequent epitaxial growth. X‐ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used to study oxide formation and capping techniques, and to monitor changes that would occur upon thermal desorption. The effects of a remote plasma on these surfaces were studied as well as to apply thin dielectric films of Si 3 N 4 in order to study interfacial properties. Angle‐resolved XPS (ARXPS) was performed in many cases to ascertain oxide layer thickness, uniformity, and structure. For the types of surfaces studied—mirror finished semiconductors, ARXPS is straightforward, and the angular dependence is obtained by physically altering the surface orientation with respect to the analyser. While the sample can be repositioned with care to analyse the same spot, changing the angle will effectively change the sampling area, further, surface topography can preclude the use of ARXPS. Use of parallel PARXPS, now available on recent instrumentation, can alleviate these problems. In this case, photoelectrons are collected simultaneously from a large angle. A multichannel detector allows this to be split into smaller angles thereby giving the PARXPS spectra without physically tilting the sample. Further, because the sample is not tilted, topographical effects are minimised allowing meaningful data to be extracted from not so perfect samples. To illustrate this, a detailed PARXPS study on a gallium Indium eutectic (EGaIn) will be presented. Various methods of extracting the depth information from these spectra will be discussed. Finally, the application of using PARXPS to study buried interfaces will be briefly discussed. Copyright © 2017 John Wiley & Sons, Ltd.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».