A Wideband, Low-Noise Accelerometer for Sonar Wave Detection
Notice bibliographique
Résumé
This paper presents the development of a highperformance micromachined capacitive accelerometer for detection of sonar waves. The device is intended to replace existing hydrophones in towed array sonar systems, and thus, needs to meet stringent performance requirements on noise, bandwidth, and dynamic range, among others. The in-plane, single-axis accelerometer is designed based on a mode-tuning structural platform. A frame was used instead of a solid plate for the proofmass of the device, allowing us to push undesired vibration modes beyond the operating bandwidth of the device while enabling us to employ a portion of the area for capacitive sensing elements. The designed accelerometer was fabricated on a silicon-on-insulator wafer with 100-μm device layer with capacitive gaps of ~2.2 μm. The sensitivity of the accelerometer is 4 V/g with a noise spectral √ density of better than 350 ng/√Hz. The fundamental resonant frequency of the device is 4.4 kHz. The open-loop dynamic range of the accelerometer, while operating at atmospheric pressure, is better than 135 dB with a cross-axis sensitivity of less than 30 dB.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».