All-gas-phase synthesis of amino-functionalized UiO-66 thin films
Notice bibliographique
Résumé
Thin films of metal-organic frameworks (MOFs) prepared using all-gas-phase techniques such as atomic/molecular layer deposition (ALD/MLD) are emerging due to their potential for enabling suitable applications. Their high and specific porosity enables their use as membranes for separations and as a basis for sensors in microelectronics, provided that films can be made. The properties of such MOF materials can be tuned by choosing linker molecules that are functionalized with a variety of chemical groups. However, thin films of these functionalised MOFs have so far been prepared through wet based chemistries, which are difficult to combine with microelectronics and high aspect ratio structures. We here report on the thin film deposition of amino-functionalised UiO-66 through an all-gas-phase ALD/MLD process. By using amino-functionalised linkers, modulation by acetic acid to control the stoichiometry of the deposited film was no longer required, as opposed to the case in which unmodified terephthalic acid was used as a linker. The growth and properties of the films were characterised using an in situ quartz crystal microbalance (QCM), spectroscopic ellipsometry (SE), grazing incidence X-ray diffraction (GIXRD), Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) and other techniques to obtain information on their growth dynamics and physical properties.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,041 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».