Quantitative analysis of wide field-of-view and broadband quarter-wave plate based on metasurface
Notice bibliographique
Résumé
As the numerical aperture (NA) of the projection objective increases continually and the exposure pattern feature size decreases gradually, the polarization illumination is introduced into the lithography system. Therefore, it is necessary to design a wide field-of-view (FOV) wave plate to eliminate the effect of oblique incident light on the phase delay of the traditional zero order wave plate effectively. The quarter-wave plate with 20° FOV based on birefringent optical crystals has been designed in our laboratory by Dong et al. In order to obtain a wider FOV, we explore a previously reported Ag patch ultrathin quarter-wave plate whose performances were not analyzed by finite-difference time-domain (FDTD) method. In this paper, we mainly investigate three performances of the Ag patch quarter-wave plate consisting of FOV, achromatic band and achromatic band transmission. The simulation results indicate that when phase difference error is controlled at ±2° (1) the range of FOV of the quarter-wave plate is ±29° at 632nm; (2) the achromatic band ranges from 618nm to 658nm at normal incidence; (3) the achromatic band transmission ranges from 11% to 30%. Compared with the traditional wave plate made of birefringent crystals, the achromatic band and transmission is slightly lower but the FOV of this quarter-wave plate is much wider. Thus, this Ag patch nanoscale wide FOV quarter-wave plate can be effectively used in high NA lithography projection exposure systems to reduce the polarization aberration caused by oblique incidence of light.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».