Piezoelectric characterization of Sc<sub>0.26</sub>Al<sub>0.74</sub>N layers on Si (001) substrates
Notice bibliographique
Résumé
Scandium aluminum nitride (ScAlN) films have been synthesized by pulsed-DC reactive magnetron sputtering. The degree of c -axis orientation as well as piezoelectric characteristics of the Sc 0.26 Al 0.74 N thin films grown on Si (001) at various discharge powers and processing pressures values have been investigated. According to x-ray diffraction (XRD) measurements, the texture of the as-grown Sc 0.26 Al 0.74 N thin films becomes more prominent in the [0001]-direction at the highest target power (700 W) and at the lowest processing pressure (4 mTorr). The piezoelectric response, as determined by measuring the d 33 piezoelectric constant, shows a maximum value of −12 pC/N also at 4 mTorr and 700 W, confirming a direct correlation between the d 33 piezoelectric constant and the degree of orientation in the [0001]-direction. The atomic concentration of Sc and Al in the synthesized ScAlN thin film, determined by secondary ion mass spectroscopy (SIMS), reveals a Sc concentration lower than in the ScAl alloy target. The piezoresponse force microscopy (PFM) shows homogeneous polarity distribution with no inversion domains. The piezoelectric layers have been used to fabricate and measure surface acoustic wave (SAW) resonators on a Sc 0.26 Al 0.74 N/Si (001) bilayer system with resonance frequency of 1.4 GHz and coupling coefficient of 0.567. Such characteristic in the frequency response reveals the potential of these materials for advanced SAW devices in applications such as next generation (5 G) wireless communication systems.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».