Piezoelectric characterization of Sc<sub>0.26</sub>Al<sub>0.74</sub>N layers on Si (001) substrates
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Scandium aluminum nitride (ScAlN) films have been synthesized by pulsed-DC reactive magnetron sputtering. The degree of c -axis orientation as well as piezoelectric characteristics of the Sc 0.26 Al 0.74 N thin films grown on Si (001) at various discharge powers and processing pressures values have been investigated. According to x-ray diffraction (XRD) measurements, the texture of the as-grown Sc 0.26 Al 0.74 N thin films becomes more prominent in the [0001]-direction at the highest target power (700 W) and at the lowest processing pressure (4 mTorr). The piezoelectric response, as determined by measuring the d 33 piezoelectric constant, shows a maximum value of −12 pC/N also at 4 mTorr and 700 W, confirming a direct correlation between the d 33 piezoelectric constant and the degree of orientation in the [0001]-direction. The atomic concentration of Sc and Al in the synthesized ScAlN thin film, determined by secondary ion mass spectroscopy (SIMS), reveals a Sc concentration lower than in the ScAl alloy target. The piezoresponse force microscopy (PFM) shows homogeneous polarity distribution with no inversion domains. The piezoelectric layers have been used to fabricate and measure surface acoustic wave (SAW) resonators on a Sc 0.26 Al 0.74 N/Si (001) bilayer system with resonance frequency of 1.4 GHz and coupling coefficient of 0.567. Such characteristic in the frequency response reveals the potential of these materials for advanced SAW devices in applications such as next generation (5 G) wireless communication systems.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle