Dual actuation micro-mirrors
Notice bibliographique
Résumé
Abstract This paper investigates the performance of cantilever-type micro-mirrors under electromagnetic, electrostatic and dual actuation. We developed and validated a two-DOFs model of the coupled bending-torsion motions of the mirror and used it in conjunction with experiments in air and in vacuum to compare all three actuation methods. We found that electromagnetic actuation is the most effective delivering a scanning range of ± out of a geometrically allowable range of ± at a current amplitude i = 3 mA and a magnetic field of B = 30 mT. Electrostatic actuation, whether alone or in conjunction with electromagnetic actuation, limited the stable angular range to smaller values (as small as ) due to the presence of spurious piston motions. This is an innate characteristic of micro-scale electrostatic actuation, the electrostatic force and the undesirable piston motion grow faster than the electrostatic torque and the desired angular displacement as the voltage is increased and they limit the stable angular range. Finally, we found that the dual actuation can be used to design two-DOF mirrors where electromagnetic actuation drives angular motion for optical beam steering and electrostatic actuation drives piston motion to control the mirror focus.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».